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真空氣氛爐注意事項

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真空氣氛爐使用注意事項

1、***(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產生劇毒之KCN氣體。

2、除了做實驗外,不要停留在高溫爐管區。

3、一旦發現有妨礙安全之事物時,請立即通知有關人員(技術員等)。

4、請節約純水用量。

5、實驗工作完畢時,若無人繼續使用,請關特殊氣體,保留N2流動,爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關而沒有關,如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關掉。

6、處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。

7、長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。

8、晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。

9、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。

10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

11、破晶片、濾紙、棉花棒等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水


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